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SDK研究LED晶體 PPD工藝有望突破亮度極限

    作者:宏拓新軟件
    發(fā)布日期:2008-08-02         
閱讀:45     
 
 

為了滿(mǎn)足日益增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求,昭和電工集團(tuán)(SDK)研究出一種制造氮化鎵(GaN)基及其他氮化物基優(yōu)質(zhì)復(fù)合半導(dǎo)體的新工藝,主要用于藍(lán)色和白色發(fā)光二極管(LED)。 
  這種新工藝稱(chēng)為“混合PPD工藝!”,是常規(guī)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝和昭和集團(tuán)特有的等離子輔助物理沉積(PPD)工藝的結(jié)合。PPD工藝用于生成氮化物基半導(dǎo)體晶體。 
  利用這種新工藝,可以生產(chǎn)出用傳統(tǒng)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積加工(MOCVD)工藝不可能生產(chǎn)的優(yōu)質(zhì)四英寸外延片(epitaxial wafer)。 利用混合PPD工藝,昭和(SDK)還成功地研制出目前市面上亮度最高的藍(lán)色發(fā)光二極管。 昭和(SDK)將在今年把這種藍(lán)色發(fā)光二極管推出市場(chǎng)。 
  昭和電工集團(tuán)(SDK)已決定在日本千葉(Chiba)分公司建設(shè)生產(chǎn)線,利用這種新工藝的技術(shù)生產(chǎn)四英寸外延片。由于采用新技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的晶片較大,再加上新建的生產(chǎn)線,昭和電工集團(tuán)(SDK)的藍(lán)色發(fā)光二極管生產(chǎn)能力將大大增加,目前每月產(chǎn)量為3千萬(wàn)只,到今年年底將增加到每月1億只。 
  混合PPD新工藝簡(jiǎn)介 
  目前,氮化鎵基藍(lán)色或白色發(fā)光二極管(典型的氮化物基復(fù)合半導(dǎo)體)的照明效率已經(jīng)超過(guò)了其他光源(例如白熾燈、日光燈),但批量生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)外延片的新技術(shù)仍然是非常需要的。 
  昭和電工集團(tuán)(SDK)的混合PPD新工藝,可以確保顯著提高效率,并能生產(chǎn)出晶體質(zhì)量更好的四英寸外延片(epitaxial wafer)。 
  同時(shí),昭和電工集團(tuán)(SDK)的混合PPD新工藝,在多年積累的外延生長(zhǎng)工藝的基礎(chǔ)上,可以生產(chǎn)出多層的優(yōu)質(zhì)晶體;而且生產(chǎn)效率比傳統(tǒng)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝更高。 昭和電工集團(tuán)(SDK)的混合PPD工藝技術(shù)已經(jīng)申請(qǐng)了30多項(xiàng)專(zhuān)利。 
  根據(jù)X射線搖擺曲線(XRC)法分析,用PPD工藝生產(chǎn)出來(lái)的藍(lán)寶石基片,在上面所形成的單晶氮化物層與用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝生產(chǎn)的類(lèi)似產(chǎn)品相比,其結(jié)晶品質(zhì)顯示出顯著改善。 
  術(shù)語(yǔ)解釋?zhuān)?nbsp;
  氮化物基復(fù)合半導(dǎo)體 
  基于(Alx,Gay,In1-x-y)N的復(fù)合半導(dǎo)體的通稱(chēng),主要用于生產(chǎn)紫外線及綠色發(fā)光二極管和藍(lán)色激光二極管(LD)。作為新型的電子器件材料,這些產(chǎn)品正引起人們的重視。 
  氮化鎵(GaN)基發(fā)光二極管 
  根據(jù)不同的成分,氮化鎵基發(fā)光二極管可以發(fā)出從紫外線到綠光的各種光。如果將紫外線或藍(lán)色發(fā)光二極管同熒光物質(zhì)結(jié)合起來(lái),就有可能生產(chǎn)出波長(zhǎng)范圍很廣的發(fā)光二極管。(熒光物質(zhì)是一種發(fā)光的物質(zhì),能夠?qū)⑺盏牟糠止饩轉(zhuǎn)換成不同波長(zhǎng)的光輻射并放射出來(lái)) 
  外延生長(zhǎng) 
  一種形成半導(dǎo)體層的技術(shù),在襯底上面所形成的晶體層,其晶向與襯底相同。 

 

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